ibss Group, Inc.

Oberflächen neu definiert

Produkt-Highlight

GV10x UHV Downstream Asher

Vergleichbare Plasmaquellen im Internet sind möglicherweise Hochvakuum-kompatibel, jedoch nicht kompatibel mit Ultrahoch-Vakuum Anforderungen. Der Betrieb von Hochvakuum-Plasmaquellen an Ultra-Hochvakuum-Systemen erfordert kostenintensive Komponenten wie z. B. Absperrventile sowie Vorpumpen-Systeme. 

Der GV10x UHV DS Asher ist dafür ausgelegt, nach Plasmareinigung der UHV-Vakuumkammer (im Millitorr-Bereich) ohne Unterbrechung des Vakuums an der Kammer zu verbleiben. Diese einzigartige in-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil sowie eine Vorpumpe überflüssig.

GV10x UHV DownStream Asher

Lösungen für Kontaminationen in SEM-, FIB- und TEM-Systemen

GV10x DS Asher

Die in situ-Behebung von Kontaminationen ist um einen Faktor 10 effektiver als andere Methoden

GV/GA

Vom Benutzer montierte Ex-situ-Tischplatte für EM-Proben, TEM-Halterreinigung und -lagerung

Mobile DS Asher

MCA

Mobiler Plasma-Aufbau für die ex situ-Reinigung von EM-Proben sowie für die in situ-Reinigung von SEM/FIB-Kammern

Chiaro

Plasma-Reinigung & Hydrophylisierung von Oberflächen, Inspektion von TEM-Proben, Leck-Testen von Flüssigkeitszellen bei 40-facher Vergrößerung

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher, Verunreinigungen aus Elektronenmikroskopie-Proben und -Kammern zu entfernen, wird von EM-Anwendern weltweit anerkannt. Die verbesserte Kontaminationskontrolle gegenüber herkömmlichen Methoden (wie z. B. Plasmareinigern der 1. Generation, LN2-Kühlfallen, UV-Exposition) bietet der EM-Analyse die Möglichkeit, Kohlenstoff-Artefakte in wenigen Minuten zu entfernen sowie die Kontaminationen in Vakuumkammern zu verringern.

Deutlich reduzierte Reinigungszeiten

Die Reinigungsraten waren so hoch, dass die Ablagerungen schneller als erwartet entfernt wurden… es wird deutlich, dass die Kohlenstoffreinigung im Fall des GV10x… viel effizienter ist.

Eine erweiterte Studie über ein neuartiges Verfahren zur Reinigung von Kohlenstoff-Kontaminationen auf großen optischen Oberflächen unter Verwendung einer induktiv gekoppelten Niederdruck-HF-Plasmaquelle (GV10x DownStream Asher). Technische und wissenschaftliche Merkmale dieses skalierten Reinigungsprozesses werden analysiert, wie z. B. die Reinigungseffizienz für verschiedene Kohlenstoffallotrope (amorph und diamantartig…. Mehr…

Charakterisierung, Optimierung und oberflächenphysikalische Aspekte der In-situ-Plasmareinigung von Spiegeln. Obwohl die graphitische Kohlenstoffkontamination von Synchrotron-Optiken seit mehreren Jahrzehnten ein offensichtliches Problem ist, sind die dem Kontaminationsprozess zugrunde liegenden grundlegenden Mechanismen sowie die Reinigungs-/Sanierungsstrategien nicht verstanden und die entsprechenden Reinigungsverfahren sind noch immer… Mehr…

Die Downstream-Plasmatechnologie zur Reinigung von TEM-Proben auf Kohlenstofffolien. Plasmareinigung sich zu einem wesentlichen Schritt in der modernen analytischen Elektronenmikroskopie entwickelt, welche kontaminationsfreie Proben für die bildgebende Analyse sowie für die Elementaranalyse erfordert. Das Dilemma für die Nutzer von Kohlenstofffilm-bedeckten TEM-Gittern besteht darin, wie Kohlenwasserstoff-Kontaminationen plasmagereinigt und gleichzeitig der Kohlenstoffträgerfilm erhalten werden kann. In der Reihenfolge…. Mehr…

Repräsentanten weltweit

  • Dieses Feld dient zur Validierung und sollte nicht verändert werden.

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher Kohlenstoffkontaminationen zu entfernen stellt einen wesentlichen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Minderung von Verunreinigungen mittels Kühlfallen, dem Spülen mit Stickstoff sowie anderen Plasmareinigern dar. Der GV10x stellt mit seinem erweiterten Leistungs- und Vakuumbereich (5 bis 100 Watt bzw. 2 bis < 0.005 Torr) einen Paradigmenwechsel in der Kontrolle von Kohlenwasserstoffen in SEMs und anderen Analyseinstrumenten wie z. B. Massenspektrometern, XPS-Systemen etc. dar.

Mit den Fortschritten in den Nanowissenschaften wird die Elektronenprobenanalyse zunehmend anspruchsvoller: Die Energie des Elektronenstrahls nimmt ab, der Einsatz von Prozessgasen nimmt zu und um das Erreichen einer hohen Auflösung hängt zunehmend davon ab, einen geringen Verschmutzungsgrad durch Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffe sicherzustellen. Der Downstream-Plasmaprozess erledigt schnell und einfach die Beseitigung von akkumulierten Kohlenwasserstoff-Verunreinigung und reinigt zeitgleich die Proben. Im Gegensatz zur kinetischen Reinigung in üblichen „Plasmareinigern“ ist der Downstream-Plasmaprozess ein schonender chemischer Prozess (mit vernachlässigbarer kinetischer Energie). Dieser Prozess hat die Mittel zur Entfernung von Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.

Der „Gentle Asher“ wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um Proben vor dem Einbringen in die EM-Kammer zu reinigen. Die „Gentle Asher“-Kammer, welche einen mit dem GV10x versehenen GA/GV mit umfasst, ist ideal geeignet um durch Rasterung verursachte schwarze Alblagerungen-Quadrate zu verhindern.

Durch einfachen Umbau der GVx-Quelle auf die „Gentle-Asher“-Kammer entfernt diese Technologie in leichter und effektiver Weise Verunreinigungen aus Proben und TEM-Haltern ohne nennenswerte Schäden zu verursachen und hält gleichzeitig die Kohlenwasserstoffe in SEM, TEM, CDSEM und FIB-Systemen in Grenzen. Wenn Proben und Halter vorgereinigt werden verhindert dies eine Kontamination des Kammervakuums und reduziert somit den Zeitbedarf für die Reinigung von Mikroskopen.

MCA

Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Die Qwk-Switch™-Plasmaquelle erleichtert das Beheben von Kohlenwasserstoff-Kontaminationen durch in situ-Reinigung an verschiedenen SEM- oder FIB-Vakuumkammern.

Die MCA-Kammer ist auf einem tragbaren Edelstahl-Wagen installiert und kann eine Auswahl von Proben aufnehmen um mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-plasmas Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilieren sowie bis zu drei TEM-Halter zu reinigen und aufzubewahren.

Der Chiaro ähnelt dem MCA, zeichnet sich jedoch durch Hochvakuum sowie durch hohe Reinigungsgeschwindigkeit aus. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.

  • Einfache TEM-Probenbeladung durch schwenkbaren Vakuum-Verschluss.
  • Schwenkbares Stereomikroskop mit reproduzierbarer Positionierung.
  • 5-fache Vergrößerung bei 6 Zoll Arbeitsabstand, LED-Beleuchtung zur Beobachtung des Beladevorgangs.
  • Überwachung von möglichen Gas-/Flüssigkeits-Lecks der Probenzellen bei < 2e-5 Torr Vakuumdruck.
  • und vieles mehr..

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher Kohlenstoffkontaminationen zu entfernen stellt einen wesentlichen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Minderung von Verunreinigungen mittels Kühlfallen, dem Spülen mit Stickstoff sowie anderen Plasmareinigern dar. Der GV10x stellt mit seinem erweiterten Leistungs- und Vakuumbereich (5 bis 100 Watt bzw. 2 bis < 0.005 Torr) einen Paradigmenwechsel in der Kontrolle von Kohlenwasserstoffen in SEMs und anderen Analyseinstrumenten wie z. B. Massenspektrometern, XPS-Systemen etc. dar.

Mit den Fortschritten in den Nanowissenschaften wird die Elektronenprobenanalyse zunehmend anspruchsvoller: Die Energie des Elektronenstrahls nimmt ab, der Einsatz von Prozessgasen nimmt zu und um das Erreichen einer hohen Auflösung hängt zunehmend davon ab, einen geringen Verschmutzungsgrad durch Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffe sicherzustellen. Der Downstream-Plasmaprozess erledigt schnell und einfach die Beseitigung von akkumulierten Kohlenwasserstoff-Verunreinigung und reinigt zeitgleich die Proben. Im Gegensatz zur kinetischen Reinigung in üblichen „Plasmareinigern“ ist der Downstream-Plasmaprozess ein schonender chemischer Prozess (mit vernachlässigbarer kinetischer Energie). Dieser Prozess hat die Mittel zur Entfernung von Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.

Der „Gentle Asher“ wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um Proben vor dem Einbringen in die EM-Kammer zu reinigen. Die „Gentle Asher“-Kammer, welche einen mit dem GV10x versehenen GA/GV mit umfasst, ist ideal geeignet um durch Rasterung verursachte schwarze Alblagerungen-Quadrate zu verhindern.

Durch einfachen Umbau der GVx-Quelle auf die „Gentle-Asher“-Kammer entfernt diese Technologie in leichter und effektiver Weise Verunreinigungen aus Proben und TEM-Haltern ohne nennenswerte Schäden zu verursachen und hält gleichzeitig die Kohlenwasserstoffe in SEM, TEM, CDSEM und FIB-Systemen in Grenzen. Wenn Proben und Halter vorgereinigt werden verhindert dies eine Kontamination des Kammervakuums und reduziert somit den Zeitbedarf für die Reinigung von Mikroskopen.

MCA

Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Die Qwk-Switch™-Plasmaquelle erleichtert das Beheben von Kohlenwasserstoff-Kontaminationen durch in situ-Reinigung an verschiedenen SEM- oder FIB-Vakuumkammern.

Die MCA-Kammer ist auf einem tragbaren Edelstahl-Wagen installiert und kann eine Auswahl von Proben aufnehmen um mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-plasmas Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilieren sowie bis zu drei TEM-Halter zu reinigen und aufzubewahren.

Der Chiaro ähnelt dem MCA, zeichnet sich jedoch durch Hochvakuum sowie durch hohe Reinigungsgeschwindigkeit aus. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.

  • Einfache TEM-Probenbeladung durch schwenkbaren Vakuum-Verschluss.
  • Schwenkbares Stereomikroskop mit reproduzierbarer Positionierung.
  • 5-fache Vergrößerung bei 6 Zoll Arbeitsabstand, LED-Beleuchtung zur Beobachtung des Beladevorgangs.
  • Überwachung von möglichen Gas-/Flüssigkeits-Lecks der Probenzellen bei < 2e-5 Torr Vakuumdruck.
  • und vieles mehr..

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