Mobiler Cubic Asher (MCA)
Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Der Qwk-Switch™-Adapter erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff durch in-situ-Kammerreinigung in SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB).
Die MCA-Kammer ist auf einem tragbaren Edelstahl-Wagen installiert und kann eine Auswahl von Proben aufnehmen um mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-plasmas Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilieren sowie bis zu drei TEM-Halter zu reinigen und aufzubewahren.
Diese mobile Station ermöglicht ein effektives und zuverlässiges atomares Ashing ohne Sputtern oder Hitze. Die Bedienung erfolgt über das Frontpanel mit einem bedienerfreundlichen Kippschalter mit 3 Positionen, VENT-OFF- PUMP (Lüftung-Aus-Pumpen), während Plasmaparameter mit der neuesten ibss-Software über ein helles Touchscreen-Panel ausgewählt und eingestellt werden können.
Wenn der Qwk-Switch™ auf ein SEM/FIB montiert wird, wird die Degradation/Abschwächung des Elektronenstrahls durch eine periodische Plasmareinigung verhindert, die die Kohlenwasserstoffablagerungen in den SEM-Kammern entfernt. (???) Der MCA ist eine unentbehrliche, kosteneffektive Anschaffung, die sich in weniger als einem Jahr refinanziert.