Mobiler Cubic Asher (MCA)



Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Der Qwk-Switch™-Adapter erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff durch in-situ-Kammerreinigung in SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB).

Die MCA-Kammer ist auf einem tragbaren Edelstahl-Wagen installiert und kann eine Auswahl von Proben aufnehmen um mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-plasmas Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilieren sowie bis zu drei TEM-Halter zu reinigen und aufzubewahren.

Diese mobile Station ermöglicht ein effektives und zuverlässiges atomares Ashing ohne Sputtern oder Hitze. Die Bedienung erfolgt über das Frontpanel mit einem bedienerfreundlichen Kippschalter mit 3 Positionen, VENT-OFF- PUMP (Lüftung-Aus-Pumpen), während Plasmaparameter mit der neuesten ibss-Software über ein helles Touchscreen-Panel ausgewählt und eingestellt werden können.
Wenn der Qwk-Switch™ auf ein SEM/FIB montiert wird, wird die Degradation/Abschwächung des Elektronenstrahls durch eine periodische Plasmareinigung verhindert, die die Kohlenwasserstoffablagerungen in den SEM-Kammern entfernt. (???) Der MCA ist eine unentbehrliche, kosteneffektive Anschaffung, die sich in weniger als einem Jahr refinanziert.

Key Features

  • Alle Eigenschaften des GV10x DS Asher plus Qwk-Switch™
  • 3 Anwendungspositionen des Kipphebels (VENT-OFF-ON) (Lüftung-Aus-An)
  • Touchscreen - Auswahl der Parameter und Anwendung
  • Kammer mit drei TEM-Halter-Anschlüssen
  • Qwk-Switch™-Adapter kann in Minuten zwischen unterschiedlichen SEMs für in-situ-Ashing montiert und gewechselt werden
  • Integrierte Gasflasche zum Plasma-Vor/Antrieb (???)
  • Reduktive Gasgemische für Polymer-/organische Proben

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Work & Holiday Schedule

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