Mobile Cubic Asher (MCA)



A mobile plasma center that cleans, stores and processes SEM/TEM samples/holders and other sundry items in a small chamber. Qwk-Switch™ Source가 SEM 혹은 FIB의 고정형 챔버로 이동 장착을 가능하게 합니다.

MCA chamber는 휴대용 S/S cart에 장착된 ibss 시그니쳐 GV10x Downstream plasma를 통하여 3개의 TEM holder 및 다양한 샘플을 보관 및 세척 할 수 있습니다.

본 이동식 설비는 스퍼터링 및 과열 없이 효율적이고 안정적인 atomic ashing(oxygen radical)을 제공합니다. 작동은 VENT-OFF-PUMP로 이루어진 총 3단계의 토글스위치를 탑재한 전면 패널을 통해 제어되며, 플라즈마 관련 수치를 최신 ibss 소프트웨어가 탑재된 터치 스크린 패널을 통해 선택 및 설정할 수 있습니다.
Qwk-Switch™를 통해 SEM/FIB으로 이동 장착이 가능하며, SEM chamber 내에 축적된 탄화수소 제거를 위한 플라즈마 세척을 통해 전자빔 이미지 저하가 예방됩니다. MCA는 1년이 채 안되는 ROI를 선사하는 필수적이고 효율적인 자산입니다.

Key Features

  • GV10x DS Asher 모든 기능 및 Qwk-Switch™
  • 3개의 포지션 토글 스위치를 통한 작동 (VENT-OFF-ON)
  • 터치 스크린 – 파라미터 설정 및 작동
  • 3개의 TEM 홀더 포트를 지닌 Chamber
  • Qwk-Switch™ Source를 통해 플라즈마 크리너를 짧은 시간 내 여러 SEM 장비로 이동 설치
  • On Board Plasma driving 가스 실린더 탑재
  • 고분자/유기적 표본을 위한 환원성 혼합 기체