Chiaro

Chiaro는 MCA와 유사하나 turbomolecular pump 장착으로 구분됩니다. 옵션으로 선택 가능한 광학 현미경을 장착하여 시료들을 플라즈마 컨디셔닝시에 관찰하거나 시료의 잠재적인 액체/기체 유출 여부를 확인할 수 있습니다. 고진공 상태에서의 플라즈마 프로세싱은 플라즈마 활동을 더욱 증가시킵니다. TEM 홀더 내에서 기체 및 액체 시료 셀들을 볼 수 있게 하기 위하여, Chiaro는 유출 검사, 시료장착 중 기체/액체 E-Chip 확인, 표면 친수화, 플라즈마 프로세싱과 같은 기능을 수행합니다.

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