GV10x DS Asher



Mit den Fortschritten in den Nanowissenschaften wird die Elektronenprobenanalyse zunehmend anspruchsvoller: Elektronenstrahlen benötigen weniger Energie, der Einsatz von Prozessgasen nimmt zu und ein hohes Auflösungsvermögen ist stark von der Verringerung der Kohlenstoff- und Kohlenwasserstoffverschmutzung/-grad abhängig. Der Downstream Plasmaprozess beseitigt sowohl die Ansammlung von Kohlenwasserstoffverunreinigung und gleichzeitig die Probenreinigung schnell und einfach. Im Gegensatz zur kinetischen Reinigung in üblichen Plasmareinigern ist der Downstream Plasmaprozess ein schonender chemischer Prozess (praktisch keine K.E.). Dieser Prozess hat die Methoden zur Entfernung von Kohlenstoffmolekülen und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.

Dieses Verfahren ist sowohl in großvolumigen Kammern als auch auf stark verunreinigten Oberflächen anwendbar. Der GV10x DS Asher benötigt nur 1/10 der Zeit, um die Kammern makellos zu gereinigte Kammern, da er höhere Konzentrationen von O0 und H0 entwickelt, um Verunreinigungen mit sanftem Ergebnis zu entfernen. Was unsere Kunden zu sagen haben: "... selbst in grossen Kammern können wir mit dem GV10x Kohlenwasserstoff durchweg effizienter und gleichmäßiger/rueckstandsfrei (?) kontrollieren und das in nur 1/10 der Zeit und bei höherer Genauigkeit/Gleichmaessigkeit als bei herkömmlichen Methoden"

Bild vor der Reinigung
Bild nach der Reinigung

 

Die Möglichkeit Kohlenstoffverunreinigungen durch den GV10x Downstream Asher zu entfernen und zu verringern, ist ein grossartiger Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden wie die Nutzung von Kühlfallen, Stickstoffspülung und anderen Plasmareinigern. Der GV10x stellte mit seinem erweiterten Leistungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) einen Paradigmenwechsel in der Kohlenstoff-Kohlenwasserstoff- Kontrolle in SEMs und anderen analytischen Instrumenten wie Mas Spec, XPS usw. dar. Paradigmenwechsel = Änderung von Denkmuster
Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen die Kontamination, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Moleküle in der Gasphase umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt und nicht nur immobilisiert oder vorübergehend eingeschlossen werden. Probenartefakte wie z.B. polymerisierte Ablagerungen können in Zyklen von > 5 Minuten entfernt werden. Da Reinigungsperioden typischerweise selten sind, kann ein GV10x DS Asher niedrige HC-Werte in mehreren EM-Werkzeugen aufrechterhalten, was durch die Qwk-Switch™ Montagekonfiguration erleichtert wird.

Die ibss-Gruppe bietet eine Auswahl an Formfaktor-Controllern, die GV10x-Plasmaquellen versorgen und betreiben. Die Wahl zwischen BT-Controller und 2U-Controller ist eine Präferenz der Laboranwender.

Über die Windows-Software oder den Touchscreen kann der Bediener: die Betriebsleistung während eines Laufs von 10 bis 99 Watt einstellen, überwachen und ändern. A pressure range from 2 Torr to 5 mTorr is selectable from the Source mounted Variable Constriction.< Der große Druckbereich des GV10x ermöglicht die Kohlenwasserstoffentfernung bei TMP-Geschwindigkeiten ohne Gefahr für den TMP oder Unterbrechung der Systemverriegelungssoftware.

Key Features

  • Verstellbarer Plasma- Betriebsdruck von <5 mTorr bis 2 Torr ohne dabei TMP zu beeinträchtigen
  • Wiederholbare Reinigungsrate von 1.5 nm/min bei 50 Watt [Click Here]
  • Plasma- Reinigungszyklus in weniger als 5 Minuten
  • Gleichmäßige Reinigungsergebnisse bei niedrigem Betriebsdruck
  • Verringerung der Verschmutzung um das 10x fache Höher gegenüber anderen Plasmareinigern
  • Downstream Plasma - Ohne Erwärmung und Sputtern
  • SEM-Software durch die Steuerungseinheit Opto- Isolator geschützt
  • Eine Investition die sich schnell auszahlt/rentiert

Eigenschaften der Quelle

Induktiv gekoppelte Plasmaquelle
Erhältlich in den Ausführungen KF40, ConFlat & Qwk-Switch™
Qwk-Switch™ Quelle - Nahtloser Übergang zwischen den Instrumenten


Controller Eigenschaften

Bedienung über Touchscreen oder Windows OS
Heller und reaktionsschneller Touchscreen
Einstellbare RF-Leistung: 5-100 Watt
Einstellbare Reinigungsdauer mit Zyklus-Fortschrittsbalken
Passwortgeschützte Einstellungen
Kleinere Stellfläche in vertikaler Position (2U-Controller)


GV10x DS Asher

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