GV10x DS Asher



Au fur et à mesure que la nanoscience progresse, l’analyse à l'aide des sondes à électrons devient plus difficile: les énergies des faisceaux d’électrons diminuent, l’utilisation de gaz précurseur augmente et le maintien d’une haute résolution devient de plus en plus dépendant du maintien de faibles niveaux de contamination par carbone et hydrocarbures. Le processus plasma Downstream élimine simultanément l’accumulation de contamination par hydrocarbures et le nettoyage des échantillons d'une façon rapide et facile. À la différence du nettoyage cinétique dans les « nettoyeurs de plasma » habituels, le processus du plasma Downstream est un processus chimique doux (énergie cinétique pratiquement zéro). Ce processus a révolutionné les moyens d’éliminer le carbone et les hydrocarbures dans les chambres à vide.

Le processus est efficace dans les chambres à grand volume et sur les surfaces fortement contaminées. Le GV10x DS Asher prend 1/10 du temps pour obtenir des chambres nettement nettoyées, car il développe des concentrations plus élevées de concentrationsd’O* et de H* pour éliminer les contaminations avec d'une façon douce. Les clients disent que " ... en utilisant le GV10x, nous pouvons parvenir à un contrôle efficace et uniforme des hydrocarbures dans toutes les grandes chambres dans 1/10 du temps et avec plus d’uniformité qu’avec les méthodes établies."

Image avant de nettoyage
Image après nettoyage

 

La capacité du GV10x Downstream Asher à éliminer les contaminations par le carbone est un progrès majeur par rapport aux méthodes traditionnelles d’atténuation de contaminations par le piégeage à froid, la purge d’azote et d’autres nettoyants plasmas. Le GV10x, avec sa puissance et sa portée de pression étendues (5 à 100 Watts et 2 à 0.005 Torr), représente un changement de paradigme dans le contrôle des hydrocarbures carbone dans les SEM et autres instruments analytiques, y compris Mas Spec, XPS, etc.
L’oxygène et l’hydrogène atomique éliminent la contamination en convertissant le carbone en surface en molécules de phase de gaz qui sont ensuite pompées hors des chambres, et pas seulement immobilisées ou temporairement piégées. Les artéfacts d’échantillon tels que les dépôts polymérisés peuvent être enlevés en cycles > 5 min. Étant donné que les périodes de nettoyage sont généralement peu fréquentes, un GV10x DS Asher peut maintenir de faibles niveaux de hydrocarbures dans plusieurs outils EM, chose facile par le montage Qwk-Switch™.

ibss Group offre un choix de contrôleurs pour alimenter et opérer les sources plasma GV10x. Le choix entre les contrôleurs BT et 2U est fait selon la préférence des utilisateurs en laboratoire.

À partir du logiciel Windows ou de l’écran tactile, l’opérateur peut : régler, surveiller et modifier la puissance d’opération de 10 à 99 Watts pendant un run. Une plage de pression de 2 Torr à < 5 mTorr est sélectionnable à partir de la vanne réglable montée sur la source. La large gamme de pression du GV10x permet l’élimination des hydrocarbures à des vitesses TMP sans danger pour la TMP ou l’interruption du logiciel de verrouillage du système.

Key Features

  • Pression de plasma réglable sans interruption de TMP de <5 mTorr à 2 Torr
  • Taux d’enlèvement reproductible de 1.5 nm/min à 50 watts [Click Here]
  • Cycles de nettoyage plasma en moins de 5 minutes
  • Un nettoyage uniforme résultant d’une basse pression d’opération
  • Réduction de contamination 10 fois plus efficace par rappor aux autres nettoyeurs plasmas
  • Plasma Downstream - Pas de chauffage et d'ablation
  • Logiciel SEM protégé par opto-isolation du contrôleur
  • Court retour sur investissement

Caractéristiques source

Source plasma avec couplage inductif
Disponible avec raccord KF40, ConFlat ou Qwk-Switch™
Qwk-Switch™ Source - Transition immédiate entre instruments


Caractéristiques contrôleur

Fonctionnement via écran tactile ou système d’opération Windows
Écran tactile lumineux et réactif
Puissance RF réglable : 5-100 Watts
Durée de nettoyage réglable avec barre de progrès du cycle
Paramètres protégés par mot de passe
Taille verticale réduite (contrôleur 2U)


GV10x DS Asher

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