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SEM, FIB et TEM Solutions pour contaminations

GV10x DS Asher

La capacité du GV10x Downstream Asher à éliminer les contamination par carbone est un progrès majeur par rapport aux méthodes traditionnelles d’atténuation de la contamination par le piégeage à froid, la purge d’azote et d’autres nettoyeurs plasmas. Le GV10x, avec sa puissance et sa portée de pression étendues (5 à 100 Watts et 2 à 0,005 Torr), représente un changement de paradigme dans la décontamination du carbone des SEM et d'autres systèmes de vide. L’oxygène et l’hydrogène atomique éliminent les contaminations en convertissant le carbone en surface en molécules de phase de gaz qui sont ensuite pompées hors des chambres.

ibss Group, Inc. offre deux contrôleurs différents pour alimenter et opérer les sources plasma GV10x. Le choix entre les contrôleurs BT et 2U est fait selon la préférence des utilisateurs en laboratoire. Le logiciel ibss GUI est compatible avec les deux contrôleurs.


GV10x UHV DS Asher

Les sources concurrentielles découvertes par recherche sur Internet peuvent être compatibles avec le vide élevé (HV) mais pas avec l'ultra-vide (UHV). Les composants sous vide nécessaires pour la conversion des sources plasma HV en sources compatibles UHV nécessitent une vanne d’isolation coûteuse et des composants de pré-pompage.

Le GV10x UHV DS Asher est conçu pour résider sur une chambre UHV après nettoyage plasma de la chambre dans la gamme milliTorr sans briser le vide. Cette source plasma in situ unique en son genre élimine le besoin d’une valve d’isolation et d’une pré-pompe à vide coûteuses.

Grâce à une conception innovante de source plasma, le GV10x UHV Downstream Asher réduit la contamination par hydrocarbures 10 à 20 fois plus efficacement sur les optiques synchrotron et >10 fois plus rapidement que les méthodes traditionnelles et les nettoyeurs plasma.


GV/GA

Le "Gentle Asher" a été spécialement conçu pour étendre l’investissement d'une source plasma GV10x vers le nettoyage des échantillons avant l’insertion dans la chambre EM. La chambre "Gentle Asher" qui est intégre une source plasma GV10x est idéale pour prévenir les dépôts carrés noirs suite au balayage.

Le GVGA n’est pas un nettoyeur plasma dans le sens traditionnel puisque les espèces à l'intérieur du plasma ne sont pas accélérées en aval et possèdent des énergies ≤ 30 eV - par cela, la pulvériserisations par ions et les dommages de topographie de l'echantillon sont éliminés. L'oxygène atomique produit dans la source plasma GV10x élimine la contamination par hydrocarbures des échantillons par l'interaction chimique en produisant des molécules de CO2,CO & H2O qui sont ensuite pompées.


Mobile Cubic Asher (MCA)

Un centre de nettoyge plasma mobile qui nettoie, stocke et traite des échantillons/supports SEM/TEM et d’autres articles divers dans une petite chambre à vide. La source Qwk-Switch™ facilite le transfert vers d’autres SEMs ou FIBs pour l’atténuation des hydrocarbures et le nettoyage in-situ des chambres.

La chambre MCA accueille un assortiment d'échantillons pour éliminer les hydrocarbures, hydrophiliser les surfaces, stocker et nettoyer trois supports TEM et leurs échantillons avec le plasma Downstream GV10x caractéristique ibss monté sur un charriot en acier inoxydable portatif.


Chiaro

Semblable au modèle MCA mais se distingue par rapport au vide et à la vitesse de nettoyage élevé à l'aide de pompe turbomoléculaire. Un microscope optique optionnel peut être installé pour monter et observer des échantillons pendant le conditionnement plasma aussi bien que pour l’observation de fuites potentielles dans les cellules pour échantillons liquides/gazeux. Le traitement plasma à vide inférieur augmente l’activité de traitement plasma. Pour répondre aux exigences de visualisation des cellules à échantillons gazeux et liquides dans les supports TEM, le Chiaro remplit les fonctions de vérification de fuites, de visualisation des puces électroniques gaz/liquide lors du montage, de l’hydrophilisation de surface et du traitement plasma.


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