与使用冷凝捕集器、氮气吹尘和其他等离子清洁器去污染的传统方法相比，GV10x等离子清洗器清除碳污染的能力得到了重大的改善。 GV10x具有更大的功率和压力范围（5到100瓦，2到<0.005 Torr），代表了SEM和其他分析仪器（包括Mas-Spec、XPS等）中碳和碳氢化合物控制达到了典范式的转变。 原子氧和氢将表面碳转化为气态分子，不再像传统的方式那样只将其固化或吸附，而是将气态分子从镜腔中抽出，从而达到去污效果。

ibss集团提供两种不同的控制器为GV10x等离子体源进行供电和操作。 实验室用户可依需求选择BT控制器或2U控制器。 ibss 配置的图形用户界面软件与这两个控制器兼容。

移动式等离子清洗中心，配置小型长方腔室，可清洗、储存和处理SEM/TEM样品/支架和其他杂物。 Qwk-Switch™快速接头将碳氢污染转移到其他SEM或FIB以进行原位镜腔清洁。

MCA腔室可容纳需要去除碳氢污染的样品，亲水表面可储存和清洁三个TEM样品杆，带有ibss签名的GV10x顺流等离子清洗器安装在便携式的不锈钢推车上。

与 MCA 相似，但区别在于涡轮分子压力和速度。 配置可安装的光学显微镜，以便在等离子处理期间观察样品，并在液体/气体样品中检测是否存在泄漏现象。 在低真空处理等离子可增加等离子的活性。 为了检测TEM杆中气体和液体样品是否存在泄露现象，Chiaro具备了检漏功能，不仅在安装时可观察气体/液体的电子晶片，还可测试表面的亲水度并处理等离子。