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扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜 防污染解决方案

GV10x 顺流等离子清洗器

与使用冷凝捕集器、氮气吹尘和其他等离子清洁器去污染的传统方法相比,GV10x等离子清洗器清除碳污染的能力得到了重大的改善。 GV10x具有更大的功率和压力范围(5到100瓦,2到<0.005 Torr),代表了SEM和其他分析仪器(包括Mas-Spec、XPS等)中碳和碳氢化合物控制达到了典范式的转变。 原子氧和氢将表面碳转化为气态分子,不再像传统的方式那样只将其固化或吸附,而是将气态分子从镜腔中抽出,从而达到去污效果。

ibss集团提供两种不同的控制器为GV10x等离子体源进行供电和操作。 实验室用户可依需求选择BT控制器或2U控制器。 ibss 配置的图形用户界面软件与这两个控制器兼容。


GV10x超高压空顺流清洗器

通过互联网搜索发现的竞争来源可能是高真空 (HV),但不是超高真空 (UHV) 兼容。 将高压等离子体源转换为与特高压兼容的真空元件需要昂贵的隔离阀和预泵组件。

GV10x超高压顺流清洗器用于特高压室,在毫托尔范围内进行腔室的等离子清洗后不会破坏真空状态。 这种原位等离子体源不需要昂贵的隔离阀和预泵。

通过创新的等离子源设计,GV10x UHV 下游阿舍在同步加速器光学上可有效减少碳氢化合物污染 10 至 20 倍,比传统方法和等离子清洁剂快 10 倍。


GV/GA

Gentle Asher™的设计旨在扩大GV10x的应用,用以清洗放入电子显微镜腔体前的样品。 Gentle Asher™腔体与GV10x结合,可以极大地防止黑色扫描方框的生成。

GVGA不是传统意义上的等离子体清洗器,因为等离子无加速,顺流能量小于或等于30ev,样品上的碳氢污染物通过射频低温等离子的温和漂洗,被分解为CO2, CO & H2O。 而不会喷射、轰击出剧烈的等离子给腔体本身造成损伤。结束时分解物会被抽离出真空腔。...


Mobile Cubic Asher (MCA)

移动式等离子清洗中心,配置小型长方腔室,可清洗、储存和处理SEM/TEM样品/支架和其他杂物。 Qwk-Switch™快速接头将碳氢污染转移到其他SEM或FIB以进行原位镜腔清洁。

MCA腔室可容纳需要去除碳氢污染的样品,亲水表面可储存和清洁三个TEM样品杆,带有ibss签名的GV10x顺流等离子清洗器安装在便携式的不锈钢推车上。


Chiaro

虽然与MCA类似,但Chiaro的涡轮分子压力和速度是有所不同的。 配置可安装的光学显微镜,以便在等离子处理期间观察样品,并在液体/气体样品中检测是否存在泄漏现象。 在低真空处理等离子可增加等离子的活性。 为了检测TEM杆中气体和液体样品是否存在泄露现象,Chiaro具备了检漏功能,不仅在安装时可观察气体/液体的电子晶片,还可测试表面的亲水度并处理等离子。


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