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SEM, FIB and TEM Contamination Solutions

GV10x 等离子清洗器(顺流灰化器)

与使用冷凝捕集器、氮气吹尘和其他等离子清洁器去污染的传统方法相比,GV10x等离子清洗器清除碳污染的能力得到了重大的改善。 The GV10x, with its extended power and pressure range (5 to 100 Watts and 2 to <0.005 Torr), represents a paradigm shift in the carbon decontamination of SEMs and other vacuum systems. 原子氧和氢将表面碳转化为气态分子,不再像传统的方式那样只将其固化或吸附,而是将气态分子从镜腔中抽出,从而达到去污效果。

ibss集团提供了可驱动和操作GV10x等离子体源的控制器 BT控制器和2U控制器是实验室用户的首选。 The ibss GUI software is compatible with both controllers.


GV10x UHV DS Asher

Through an innovative plasma source design, the GV10x UHV Downstream Asher reduces hydrocarbon contamination 10 to 20 times more effectively on synchrotron optics and >10 times faster than traditional methods and plasma cleaners.


GV10x UHV DS Asher

Through an innovative plasma source design, the GV10x UHV Downstream Asher reduces hydrocarbon contamination 10 to 20 times more effectively on synchrotron optics and >10 times faster than traditional methods and plasma cleaners.


GV/GA

Gentle Asher™的设计旨在扩大GV10x的应用,用以清洗放入电子显微镜腔体前的样品。 Gentle Asher™腔体与GV10x结合,可以极大地防止黑色扫描方框的生成。

GVGA不是传统意义上的等离子体清洗器,因为等离子无加速,顺流能量小于或等于30ev,样品上的碳氢污染物通 过射频低温等离子的温柔漂洗,被分解为CO2, CO & H2O。 GVGA不是传统意义上的等离子体清洗器,因为等离子无加速,顺流能量小于或等于30ev,样品上的碳氢污染物通 过射频低温等离子的温柔漂洗,被分解为CO2, CO & H2O。 -


Mobile Cubic Asher (MCA)

移动式等离子清洗中心,配置小型长方腔室,可清洗、储存和处理SEM/TEM样品/支架和其他杂物。 Qwk-Switch™开关将碳氢污染转移到其他SEM或FIB以进行原位镜腔清洁。

MCA腔室可容纳需要去除碳氢污染的样品,亲水表面可储存和清洁三个TEM样品杆,带有ibss签名的GV10x顺流等离子清洗器安装在便携式的不锈钢推车上。


Chiaro

虽然与MCA类似,但Chiaro的涡轮分子压力和速度是有所不同的。 配置可安装的光学显微镜,以便在等离子处理期间观察样品,并在液体/气体样品中检测是否存在泄漏现象。 在低真空处理等离子可增加等离子的活性。 为了检测TEM杆中气体和液体样品是否存在泄露现象,Chiaro具备了检漏功能,不仅在安装时可观察气体/液体的电子晶片,还可测试表面的亲水度并处理等离子。