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SEM, FIB und TEM Reinigungslösung

GV10x DS Asher

Die Entfernung von Kohlenstoffverunreinigungen durch den GV10x Downstream Asher stellt einen wichtigen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Verringerung von Verunreinigungen wie Kühlfallen, Stickstoffspülung und anderen Plasmareinigern dar. Durch seinen erweiterten Spannungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) beweist der GV10x ein Umdenken in der Kohlenstoff-Kohlenwasserstoff- Kontrolle in SEMs und anderen Vakuumsystemen. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen die Verunreinigungen, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasemolekühle umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt und nicht nur immobilisiert oder vorübergehend eingeschlossen werden.

Die ibss Group, Inc. bietet zwei verschiedene Controller zur Stromversorgung und Steuerung von GV10x-Plasmaquellen an. Ob ein BT-Controller oder 2U-Controller genutzt wird, hängt von der Präferenz des Nutzers ab. Die ibss-GUI-Software ist mit beiden Controllern steuerbar.


GV10x UHV DS Asher

Im Internet gelistete Konkurrenzquellen, können zwar mit Hochvakuum (HV), aber nicht mit Ultra- Hochvakuum (UHV) kompatibel sein. Vakuumkomponenten, die zur UHV-kompatiblen Umrüstung von HV-Plasmaquellen erforderlich sind, erfordern ein teures Absperrventil und Vorpumpenkomponenten.

Der GV10x UHV DS Asher ist so konstruiert, dass er nach der Kammerplasmareinigung im Millitorr-Bereich ohne Vakuumunterbrechung auf einer UHV-Kammer verbleibt. Diese einzigartige In-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil und eine Vorpumpe überflüssig.

Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher die Kohlenwasserstoffverunreinigung auf Synchrotronoptiken 10- bis 20-mal effektiver und >10-mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.


GV/GA

Der "Gentle Asher" wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um Proben vor dem Einbringen in die EM-Kammer zu reinigen. Die GA Kammer, die in einem GV10x integriert ist, ist bestens geeignet, um schwarze Ablagerungen auf dem Scan-Quadrat zu verhindern. (?)

Der GV/GA ist kein Plasmareiniger im traditionellem Sinne, da die Plasmaspezies nicht beschleunigt, sondern auf Energien ≤ 30ev gebremst werden, so dass Ionenzerstäubung und Schäden an der Probenzusammensetzung eliminiert werden. Atomarer Sauerstoff (O2), der in der GV10x-Plasmaquelle erzeugt wird, entfernt Kohlenwasserstoffverunreinigungen aus den Proben durch chemische Interaktion, die Kohlendioxid (CO2)-, Kohlenmonoxid(CO)- und Wasser (H2O)-Moleküle erzeugen, die dann abgepumpt werden.


Mobiler Cubic Asher (MCA)

Ein mobiles Plasmacenter, das SEM/TEM-Proben/Halter und andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und verarbeitet Der Quelle Qwk-Switch™ Adaptor erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff auf andere SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB) für in-situ-Kammerreinigung. (???)

Die MCA-Kammer kann unterschiedliche Proben deponieren, zum Entfernen von Kohlenwasserstoffen, zur Hydrophilierung von Oberflächen, zur Lagerung und Reinigung von drei TEM Haltern und Proben mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-Plasmas, der auf einem beweglichen S/S-Wagen montiert ist.


Chiaro

Ähnlich wie MCA, aber durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit gekennzeichnet. Ein optionales optisches Mikroskop kann installiert werden, um Proben während der Plasmakonditionierung und der Beobachtung möglicher Leckagen von Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu montieren und zu beobachten. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuum erhöht die Plasmabearbeitungsaktivität. Um den Anforderungen an die Betrachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Haltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen Leckageprüfung, Gas/Flüssigkeits-E-Chip-Betrachtung während der Montage, Oberflächenhydrophilierung und Plasmabearbeitung aus.


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