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SEM, FIB und TEM Reinigungslösung

GV10x DS Asher

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher, Kohlenstoffverunreinigungen zu entfernen, ist ein großer Fortschritt gegenüber den traditionellen Methoden zur Eindämmung von Verunreinigungen durch Kalteinfang, Stickstoffspülung und andere Plasmareiniger. Der GV10x stellt mit seinem erweiterten Leistungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) einen Paradigmenwechsel in der Kohlenstoffdekontamination von REMs und anderen Vakuumsystemen dar. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen die Kontamination, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasenmoleküle umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt werden.

Die ibss Group, Inc. bietet zwei verschiedene Controller zur Versorgung und zum Betrieb von GV10x-Plasmaquellen an. Die Wahl zwischen BT-Controller und 2U-Controller ist eine Präferenz der Laboranwender. Die ibss-GUI-Software ist mit beiden Controllern kompatibel.


GV10x UHV DS Asher

Im Internet gelistete Konkurrenzquellen, können zwar mit Hochvakuum (HV), aber nicht mit Ultra- Hochvakuum (UHV) kompatibel sein. Vakuumkomponenten, die zur UHV-kompatiblen Umrüstung von HV-Plasmaquellen erforderlich sind, erfordern ein teures Absperrventil und Vorpumpenkomponenten.

Der GV10x UHV DS Asher ist so konstruiert, dass er nach der Kammerplasmareinigung im Millitorr-Bereich ohne Vakuumunterbrechung auf einer UHV-Kammer verbleibt. Diese einzigartige In-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil und eine Vorpumpe überflüssig.

Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher die Kohlenwasserstoffverunreinigung auf Synchrotronoptiken 10- bis 20-mal effektiver und >10-mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.


GV/GA

Der GA wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um die Proben vor den Einsatz in die EM- Kammern zu reinigen. Die GA Kammer, die in einen GV10x integriert ist, ist ideal, um Ablagerungen von Black-Scan-Quadrat zu verhindern.

Der GV/GA ist kein Plasmareiniger im traditionellem Sinne, da die Plasmaspezies nicht beschleunigt, sondern auf eine Energien ≤ 30ev gedimmt werden, so dass Ionenzerstäubung und Schäden an der Probenzusammensetzung verhindert werden. Atomares O2, das in der GV10x-Plasmaquelle erzeugt wird, entfernt Kohlenwasserstoffverunreinigungen aus den Proben durch chemische Interaktion, die CO2-, CO- und H2O-Moleküle erzeugen, die dann abgepumpt werden.


Mobiler Cubic Asher (MCA)

Ein mobiles Plasmacenter, das SEM/TEM-Proben/Halter und andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und verarbeitet Der Quelle Qwk-Switch™ Adaptor erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff auf andere SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB) für in-situ-Kammerreinigung. (???)

Die MCA-Kammer kann unterschiedliche Proben deponieren, zum Entfernen von Kohlenwasserstoffen, zur Hydrophilierung von Oberflächen, zur Lagerung und Reinigung von drei TEM Haltern und Proben mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-Plasmas, der auf einem beweglichen S/S-Wagen montiert ist.


Chiaro

Ähnlich wie MCA, aber durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit gekennzeichnet. Ein optionales optisches Mikroskop kann installiert werden, um Proben während der Plasmakonditionierung und der Beobachtung möglicher Leckagen von Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu montieren und zu beobachten. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuum erhöht die Plasmabearbeitungsaktivität. Um den Anforderungen an die Betrachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Haltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen Leckageprüfung, Gas/Flüssigkeits-E-Chip-Betrachtung während der Montage, Oberflächenhydrophilierung und Plasmabearbeitung aus.


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