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SEM, FIB und TEM Reinigungslösung

GV10x DS Asher

Die Entfernung von Kohlenstoffverunreinigungen durch den GV10x Downstream Asher stellt einen wichtigen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Verringerung von Verunreinigungen wie Kühlfallen, Stickstoffspülung und anderen Plasmareinigern dar. Durch seinen erweiterten Spannungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) beweist der GV10x ein Umdenken in der Kohlenstoff-Kohlenwasserstoff- Kontrolle in SEMs und anderen Vakuumsystemen. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen die Verunreinigungen, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasemolekühle umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt und nicht nur immobilisiert oder vorübergehend eingeschlossen werden.

Die ibss Group, Inc. bietet zwei verschiedene Controller zur Stromversorgung und Steuerung von GV10x-Plasmaquellen an. Ob ein BT-Controller oder 2U-Controller genutzt wird, hängt von der Präferenz des Nutzers ab. Die ibss-GUI-Software ist mit beiden Controllern steuerbar.


GV10x UHV DS Asher

Im Internet zu findende Konkurrenzgeräte können zwar Hochvakuum (HV)-, aber nicht Ultra- Hochvakuum (UHV)- kompatibel. Der Betrieb von Hochvakuum-Plasmaquellen an Ultra-Hochvakuum-Systemen erfordert kostenintensive Komponenten wie z. B. Absperrventile sowie Vorpumpen-Systeme.

Der GV10x UHV DS Asher ist dafür ausgelegt, nach Plasmareinigung der UHV-Vakuumkammer (im Millitorr-Bereich) ohne Unterbrechung des Vakuums an der Kammer zu verbleiben. Diese einzigartige in-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil und eine Vorpumpe überflüssig.

Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher die Kohlenwasserstoffverunreinigung auf Synchrotronoptiken 10- bis 20-mal effektiver und >10-mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.


GV/GA

Der "Gentle Asher" wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um Proben vor dem Einbringen in die EM-Kammer zu reinigen. Die GA Kammer, die in einem GV10x integriert ist, ist bestens geeignet, um schwarze Ablagerungen auf dem Scan-Quadrat zu verhindern. (?)

Der GV/GA ist kein Plasmareiniger im traditionellem Sinne, da die Plasmaspezies nicht beschleunigt, sondern auf Energien ≤ 30ev gebremst werden, so dass Ionenzerstäubung und Schäden an der Probenzusammensetzung eliminiert werden. Atomarer Sauerstoff (O2), der in der GV10x-Plasmaquelle erzeugt wird, entfernt Kohlenwasserstoffverunreinigungen aus den Proben durch chemische Interaktion, die Kohlendioxid (CO2)-, Kohlenmonoxid(CO)- und Wasser (H2O)-Moleküle erzeugen, die dann abgepumpt werden.


Mobiler Cubic Asher (MCA)

Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Der Qwk-Switch™-Adapter erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff durch in-situ-Kammerreinigung in SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB).

Die MCA-Kammer nimmt eine Auswahl an Proben auf, um Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilisieren, drei TEM-Halter und Proben mit ibss Signatur GV10x Downstream-Plasma zu lagern und zu reinigen, die auf einem tragbaren S/S-Wagen montiert sind.


Chiaro

Ähnlich wie MCA, aber durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit gekennzeichnet. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.


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