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GV10x UHV Downstream Asher

Vergleichbare Plasmaquellen im Internet sind möglicherweise Hochvakuum-kompatibel, jedoch nicht kompatibel mit Ultrahoch-Vakuum Anforderungen. Der Betrieb von Hochvakuum-Plasmaquellen an Ultra-Hochvakuum-Systemen erfordert kostenintensive Komponenten wie z. B. Absperrventile sowie Vorpumpen-Systeme. 

Der GV10x UHV DS Asher ist dafür ausgelegt, nach Plasmareinigung der UHV-Vakuumkammer (im Millitorr-Bereich) ohne Unterbrechung des Vakuums an der Kammer zu verbleiben. Diese einzigartige in-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil sowie eine Vorpumpe überflüssig.

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GV10x UHV DownStream Asher

Produkte

Lösungen für Kontaminationen in SEM-, FIB- und TEM-Systemen

GV10x DS Asher

Die in situ-Behebung von Kontaminationen ist um einen Faktor 10 effektiver als andere Methoden

GV10x Source

GV/GA

Ultra-High Vacuum compatible. - components necessary to convert HV plasma sources UHV compatible

MCA

Mobiler Plasma-Aufbau für die ex situ-Reinigung von EM-Proben sowie für die in situ-Reinigung von SEM/FIB-Kammern

Chiaro - Complete solution in rolling cabinet

Chiaro

Plasma-Reinigung & Hydrophylisierung von Oberflächen, Inspektion von TEM-Proben, Leck-Testen von Flüssigkeitszellen bei 40-facher Vergrößerung

Anwendungen

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher, Verunreinigungen aus Elektronenmikroskopie-Proben und -Kammern zu entfernen, wird von EM-Anwendern weltweit anerkannt. Die verbesserte Kontaminationskontrolle gegenüber herkömmlichen Methoden (wie z. B. Plasmareinigern der 1. Generation, LN2-Kühlfallen, UV-Exposition) bietet der EM-Analyse die Möglichkeit, Kohlenstoff-Artefakte in wenigen Minuten zu entfernen sowie die Kontaminationen in Vakuumkammern zu verringern.

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Deutlich reduzierte Reinigungszeiten

Die Reinigungsraten waren so hoch, dass die Ablagerungen schneller als erwartet entfernt wurden… es wird deutlich, dass die Kohlenstoffreinigung im Fall des GV10x… viel effizienter ist.

Cells Alba Synchrotron Light Facility
Artikel

Bericht über die in situ-Plasmareingung von Spiegeln

Eine erweiterte Studie über ein neuartiges Verfahren zur Reinigung von Kohlenstoff-Kontaminationen auf großen optischen Oberflächen unter Verwendung einer induktiv gekoppelten Niederdruck-HF-Plasmaquelle (GV10x DownStream Asher). Technische und wissenschaftliche Merkmale dieses skalierten Reinigungsprozesses werden analysiert, wie z. B. die Reinigungseffizienz für verschiedene Kohlenstoffallotrope (amorph und diamantartig…. Mehr…

Plasmareinigung optischer Oberflächen

Charakterisierung, Optimierung und oberflächenphysikalische Aspekte der In-situ-Plasmareinigung von Spiegeln. Obwohl die graphitische Kohlenstoffkontamination von Synchrotron-Optiken seit mehreren Jahrzehnten ein offensichtliches Problem ist, sind die dem Kontaminationsprozess zugrunde liegenden grundlegenden Mechanismen sowie die Reinigungs-/Sanierungsstrategien nicht verstanden und die entsprechenden Reinigungsverfahren sind noch immer… Mehr…

Downstream Plasma Technologie für TEM-Bericht.

Downstream-Plasmatechnologie zur Reinigung von TEM-Proben auf Kohlenstofffilmen Die Plasmareinigung ist zu einem wesentlichen Schritt in der modernen analytischen Elektronenmikroskopie geworden, die kontaminationsfreie Proben für die Bildgebung und Elementaranalyse erfordert. Das Dilemma für die Nutzer von Kohlenstofffilm-bedeckten TEM-Gittern besteht darin, wie Kohlenwasserstoff-Kontaminationen plasmagereinigt und gleichzeitig der Kohlenstoffträgerfilm erhalten werden kann. In der Reihenfolge….  Mehr…

Galerie

Chiaro - Complete solution in rolling cabinet
GV10x Source
GV10X Controller & Source

ibss Group, Inc. Globale Vertretungsmöglichkeiten

GV10X Controller & Source
GV10x DS Asher Serie

Weltweiter Ausbau des Ibss-Konzernvertriebs

Die Plasmaprodukte der ibss Group, inc. sind weltweit anerkannt, um niedrige Kohlenwasserstoffgehalte in Elektronenmikroskopen und anderen analytischen Instrumentenkammern zu erreichen. Organische und anorganische Proben werden effektiv und effizient in-situ oder ex-situ kontaminationsfrei gemacht.

Um die weltweite Nachfrage nach Halbleitern zu befriedigen und uns auf kryobiologische Studien zu konzentrieren, nehmen wir aktiv Anfragen von Handelsvertretern mit zugehörigen Portfolios an, um den Verkauf von Service-Support zu steigern.

Neue Vertriebsagenten werden die bestehenden Vertriebskanäle ergänzen.

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GV10x

The GV10x Downstream Asher’s ability to remove carbon contamination is a major advancement above traditional methods of mitigating contamination using cold trapping, nitrogen purging, and other plasma cleaners. The GV10x, with its extended power and pressure range (5 to 100 Watts and 2 to <0.005 Torr), represents a paradigm shift in the carbon HC control in SEMs and other analytical instruments including Mas Spec, XPS etc.

As nanoscience progresses, electron probe analysis becomes more challenging: electron beam energies decrease, precursor gas use increases and maintaining high resolution becomes more dependent on maintaining low carbon and HC contamination levels. Downstream plasma process accomplishes eliminating hydrocarbon contamination accumulation and specimen cleaning simultaneously quickly, and easily. Unlike kinetic cleaning in usual ‚plasma cleaners‘, the downstream plasma process is a gentle chemical (virtually zero K.E.) process. This process has revolutionized the means to eliminate carbon and hydrocarbons in vacuum chambers.

GV10x - UHV

The GV10x UHV DS Asher is designed to reside on an Ultra High Vacuum (UHV) chamber after chamber plasma cleaning in millitorr range without breaking vacuum. This one of a kind in-situ plasma source eliminates the need for other costly components in Ultra High Vacuum chamber configurations, including the need for isolation valve and pre-pump.

There are significant considerations needed to be evaluated for UHV systems and normal HV plasma cleaners generally do not meet the high standards needed:  GV10x-UHV soundly meets the requirements.
GV10X Controller & Source

MCA

A mobile plasma center that cleans, stores and processes SEM/TEM samples/holders and other sundry items in a small chamber. The Qwk-Switch™ Source facilitates shifting hydrocarbon mitigation to other SEM or FIB sites for in-situ chamber cleaning.

The MCA chamber accommodates an assortment of specimens to remove hydrocarbons, hydrophilizing surfaces, storing and cleaning three TEM holders and specimens with ibss signature GV10x Downstream plasma fitted onto a portable S/S cart.

Chiaro

The Chiaro similar to MCA but distinguished by turbomolecular pressure & speed. An optional optical microscope can be installed to mount and observe specimens during plasma conditioning and potential leak observation from liquid/gas specimen cells. Plasma processing at lower vacuum increases plasma processing activity. To meet requirements of viewing gas and liquid sample cells in TEM holders the Chiaro performs the functions of leak checking, gas/liquid E-Chip viewing while mounting, surface hydrophilization and plasma processing.

  • Easy TEM specimen loading through swing away chamber port
  • Swing away stereo mic with keyed re-registration
  • 5X mag w/6” working distance, LED illumination to view loading
  • Pressure monitor possible gas/liquid cell leaks at <2e-5 Torr
  • and much more..

Work & Holiday Schedule

Normal Hours

ibssGroup’s normal work hours are based on California time:  

8:00am to 6:00pm
Monday through Friday

Holiday Schedule

Martin Luther King Jr.:  January 15
Memorial Day:  May 27
US Independence: July 4
Labor Day: September 2
US Thanksgiving: November 28 – 29
Winter Break:  December 24 thru January 2

GV10x

Die Fähigkeit des GV10x Downstream Asher Kohlenstoffkontaminationen zu entfernen stellt einen wesentlichen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Minderung von Verunreinigungen mittels Kühlfallen, dem Spülen mit Stickstoff sowie anderen Plasmareinigern dar. Der GV10x stellt mit seinem erweiterten Leistungs- und Vakuumbereich (5 bis 100 Watt bzw. 2 bis < 0.005 Torr) einen Paradigmenwechsel in der Kontrolle von Kohlenwasserstoffen in SEMs und anderen Analyseinstrumenten wie z. B. Massenspektrometern, XPS-Systemen etc. dar.

Mit den Fortschritten in den Nanowissenschaften wird die Elektronenprobenanalyse zunehmend anspruchsvoller: Die Energie des Elektronenstrahls nimmt ab, der Einsatz von Prozessgasen nimmt zu und um das Erreichen einer hohen Auflösung hängt zunehmend davon ab, einen geringen Verschmutzungsgrad durch Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffe sicherzustellen. Der Downstream-Plasmaprozess erledigt schnell und einfach die Beseitigung von akkumulierten Kohlenwasserstoff-Verunreinigung und reinigt zeitgleich die Proben. Im Gegensatz zur kinetischen Reinigung in üblichen „Plasmareinigern“ ist der Downstream-Plasmaprozess ein schonender chemischer Prozess (mit vernachlässigbarer kinetischer Energie). Dieser Prozess hat die Mittel zur Entfernung von Kohlenstoff und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.

GV/GA

Der „Gentle Asher“ wurde speziell als Erweiterung des GV10x entwickelt, um Proben vor dem Einbringen in die EM-Kammer zu reinigen. Die „Gentle Asher“-Kammer, welche einen mit dem GV10x versehenen GA/GV mit umfasst, ist ideal geeignet um durch Rasterung verursachte schwarze Alblagerungen-Quadrate zu verhindern.

Durch einfachen Umbau der GVx-Quelle auf die „Gentle-Asher“-Kammer entfernt diese Technologie in leichter und effektiver Weise Verunreinigungen aus Proben und TEM-Haltern ohne nennenswerte Schäden zu verursachen und hält gleichzeitig die Kohlenwasserstoffe in SEM, TEM, CDSEM und FIB-Systemen in Grenzen. Wenn Proben und Halter vorgereinigt werden verhindert dies eine Kontamination des Kammervakuums und reduziert somit den Zeitbedarf für die Reinigung von Mikroskopen.

MCA

Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Die Qwk-Switch™-Plasmaquelle erleichtert das Beheben von Kohlenwasserstoff-Kontaminationen durch in situ-Reinigung an verschiedenen SEM- oder FIB-Vakuumkammern.

Die MCA-Kammer ist auf einem tragbaren Edelstahl-Wagen installiert und kann eine Auswahl von Proben aufnehmen um mit Hilfe des ibss GV10x Downstream-plasmas Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilieren sowie bis zu drei TEM-Halter zu reinigen und aufzubewahren.

Chiaro

Der Chiaro ähnelt dem MCA, zeichnet sich jedoch durch Hochvakuum sowie durch hohe Reinigungsgeschwindigkeit aus. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.

  • Einfache TEM-Probenbeladung durch schwenkbaren Vakuum-Verschluss.
  • Schwenkbares Stereomikroskop mit reproduzierbarer Positionierung.
  • 5-fache Vergrößerung bei 6 Zoll Arbeitsabstand, LED-Beleuchtung zur Beobachtung des Beladevorgangs.
  • Überwachung von möglichen Gas-/Flüssigkeits-Lecks der Probenzellen bei < 2e-5 Torr Vakuumdruck.
  • und vieles mehr..
Advanced GV10x Chiaro

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