SEM/TEM 샘플/홀더 및 기타 여러가지 소형 물품을 소형 챔버내에서 세척 할 수 있는 이동식 플라즈마 크리너입니다. Qwk-Switch™ Source가 SEM 혹은 FIB의 고정형 챔버로 이동 장착을 가능하게 합니다.

MCA chamber는 휴대용 S/S 카트에 장착된 ibss 시그니쳐 GV10x Downstream plasma를 통하여 3개의 TEM 홀더 및 다양한 샘플을 보관 및 세척 할 수 있습니다.

본 이동식 설비는 스퍼터링 및 과열 없이 효율적이고 안정적인 atomic ashing(oxygen radical)을 제공합니다. 작동은 VENT-OFF-PUMP로 이루어진 총 3단계의 토글스위치를 탑재한 전면 패널을 통해 제어되며, 플라즈마 관련 수치를 최신 ibss 소프트웨어가 탑재된 터치 스크린 패널을 통해 선택 및 설정할 수 있습니다.
Qwk-Switch™를 통해 SEM/FIB으로 이동 장착이 가능하며, SEM chamber 내에 축적된 탄화수소 제거를 위한 플라즈마 세척을 통해 전자빔 이미지 저하가 예방됩니다. MCA는 1년이 채 안되는 ROI를 선사하는 필수적이고 효율적인 자산입니다.