Chiaro
Chiaro는 MCA와 유사하나 turbomolecular pump 장착으로 구분됩니다. 옵션으로 선택 가능한 광학 현미경을 장착하여 시료들을 플라즈마 컨디셔닝시에 관찰하거나 시료의 잠재적인 액체/기체 유출 여부를 확인할 수 있습니다. 고진공 상태에서의 플라즈마 프로세싱은 플라즈마 활동을 더욱 증가시킵니다. TEM 홀더 내에서 기체 및 액체 시료 셀들을 볼 수 있게 하기 위하여, Chiaro는 유출 검사, 시료장착 중 기체/액체 E-Chip 확인, 표면 친수화, 플라즈마 프로세싱과 같은 기능을 수행합니다.
Key Features
- 별도의 조립 불필요
- 40배의 swing away chamber lid를 통한 TEM 홀더 로딩
- 고진공 상태에서 3개의 TEM 홀더 보관 가능
- 최대 2e-5 Torr의 압력에서 기체/액체 셀 유출 여부 검사 가능
- 표면 친수화 플라즈마 처리
- 시료 준비 전, 후 TEM 홀더의 플라즈마 세척
- 3개의 포지션 토글 스위치 (VENT-ON-OFF)
- 터치스크린을 통한 작동
- 수 분 내 여러 SEM으로 플라즈마 크리너 이동장착
- 고분자/유기적 표본을 위한 환원성 혼합 기체
- On board plasma driving gas cylinder 탑재
