Chiaro
Ähnlich wie MCA, aber durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit gekennzeichnet. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.
Key Features
- Kein Zusammenbau nötig
- Einsetzen der TEM-Halter über einen schwingbaren Kammerdeckel bei 40X (Wofür steht 40X???)
- 3 TEM- Halter unter Hochvakuum aufbewahren
- Drucküberwachung auf mögliche Gas-/Flüssigkeitszellenundichtigkeiten bei <2e-5 Torr
- Plasmabehandlung von Oberflächen von hydrophob zu hydrophil
- Plasmareine TEM-Halter vor und nach der Probenvorbereitung
- Kippschalter mit 3 Positionen (Lüftung, Ein, Aus)
- Touchscreen- Bedienung
- Wechsel zwischen mehreren SEMs in Minuten für in-situ- Ashing/Veraschung
- Verwendung reduktiver Gasgemische für Polymer-/organische Proben
- Integrierte Gasflasche zum Plasma-Vor/Antrieb (???)
