GV10x超高压空顺流清洗器

通过互联网搜索发现的竞争来源可能是高真空 (HV),但不是超高真空 (UHV) 兼容。 将高压等离子体源转换为与特高压兼容的真空元件需要昂贵的隔离阀和预泵组件。

GV10x超高压顺流清洗器用于特高压室,在毫托尔范围内进行腔室的等离子清洗后不会破坏真空状态。 这种原位等离子体源不需要昂贵的隔离阀和预泵。

Key Features

  • 清洁周期(分钟);比竞争单位快 10 倍
  • 与"经典"电容式天线源具有卓越的性能
  • O2/Ar O0 等离子体,用于非氧化表面
  • H2/Ar/Ne H0 等离子体,用于 Ni 和 Rh 氧化层
  • 光栅效率提高 7.6 系数
  • 火焰高能光栅轮廓的完全恢复
  • 连续可调工作压力 <5 mTorr 至 2 托尔
  • 扩展功率范围:5-100 瓦射频功率
  • 非破坏
  • 两个控制器中的光电隔离保护的系统 PC
  • 非常高的清洁效率和均匀性
  • 与竞争设备相比,将污染降低 10 倍至 20 倍
  • 清洁周期(分钟);比竞争单位快 10 倍
  • 未来的升级和 H0 污染去除改进正在进行中

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