GV/GA
Gentle Asherは、EMチャンバー挿入前の試料洗浄に対するGV10xへの投資効果をさらに高めるように設計されています。 Gentle Asherのチャンバーは、GV10xと一体化され、走査エリアに四角形の黒い堆積物が生じるのを防ぐのに理想的です。
GVGAは、従来のプラズマ洗浄装置とは異なります。プラズマ粒子は加速されず、30ev以下のエネルギーのダウンストリームとなり、イオンスパッタやサンプル表面の損傷が起こりません。 Gv10xプラズマ発生器で生成された原子状酸素は、試料に付着した炭化水素を化学的に分解して、CO2、CO、H2Oを生成します。そして、これらの分子はポンプによって排出されます。.
Key Features
- GV10x DS Asherのすべての機能
- 疎水性表面を親水性にする
- 3個のTEMホルダーを真空下で保管、洗浄
- ポリマー/有機試料のための還元性混合ガスを用いたプラズマ処理
- 非損傷性 - 動力学的衝撃による試料加熱なし
- 1.5nm/minの汚染除去速度で繰り返し使用可能
