GV/GA

Le "Gentle Asher" a été spécialement conçu pour étendre l’investissement d'une source plasma GV10x vers le nettoyage des échantillons avant l’insertion dans la chambre EM. La chambre "Gentle Asher" qui est intégre une source plasma GV10x est idéale pour prévenir les dépôts carrés noirs suite au balayage.

Le GVGA n’est pas un nettoyeur plasma dans le sens traditionnel puisque les espèces à l'intérieur du plasma ne sont pas accélérées en aval et possèdent des énergies ≤ 30 eV - par cela, la pulvériserisations par ions et les dommages de topographie de l'echantillon sont éliminés. L'oxygène atomique produit dans la source plasma GV10x élimine la contamination par hydrocarbures des échantillons par l'interaction chimique en produisant des molécules de CO2,CO & H2O qui sont ensuite pompées.

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