GV/GA

Gentle Asherは、EMチャンバー挿入前の試料洗浄に対するGV10xへの投資効果をさらに高めるように設計されています。 Gentle Asherのチャンバーは、GV10xと一体化され、走査エリアに四角形の黒い堆積物が生じるのを防ぐのに理想的です。

GVGAは、従来のプラズマ洗浄装置とは異なります。プラズマ粒子は加速されず、30ev以下のエネルギーのダウンストリームとなり、イオンスパッタやサンプル表面の損傷が起こりません。 Gv10xプラズマ発生器で生成された原子状酸素は、試料に付着した炭化水素を化学的に分解して、CO2、CO、H2Oを生成します。そして、これらの分子はポンプによって排出されます。.