Chiaro
MCAとよく似ていますが、ターボ分子ポンプの圧力と速度が異なります。 オプションの光学顕微鏡を取り付ければ、プラズマコンディショニングと液体/気体試料セルからのリーク確認をしながら、試料の取り付けと観察が可能です。 低真空でプラズマ処理を行うと、プラズマ処理の活性が高まります。 TEMホルダー内の気体/液体試料セルの観察要件を満たすために、Chiaroは、リークチェック、試料装着中の気体/液体E-Chip観察、表面親水化、プラズマ処理を行います。
Key Features
- 組み立て不要
- 40倍に拡大しながらチャンバーカバーを取り外してTEMホルダーを装填可能
- 高真空下で3個のTEMホルダーを保管可能
- 2e-5 Torr未満で起こり得る気体/液体セルからのリークを圧力監視
- 疎水性表面を親水化するプラズマ処理
- 試料準備前後のTEMホルダーのプラズマ洗浄
- 3ポジショントグルスイッチ(VENT, ON, OFF)
- タッチスクリーン操作
- in-situアッシングの際に複数のSEM間を数分で移動取り付け可能
- ポリマー/有機試料のために還元性混合ガスを使用
- プラズマ駆動ガスシリンダーをカートに搭載
