Chiaro

Der Chiaro ähnelt dem MCA, zeichnet sich jedoch durch Hochvakuum sowie durch hohe Reinigungsgeschwindigkeit aus. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.

Einfache TEM-Probenbeladung durch schwenkbaren Vakuum-Verschluss.
Schwenkbares Stereomikroskop mit reproduzierbarer Positionierung.
5-fache Vergrößerung bei 6 Zoll Arbeitsabstand, LED-Beleuchtung zur Beobachtung des Beladevorgangs.
Überwachung von möglichen Gas-/Flüssigkeits-Lecks der Probenzellen bei < 2e-5 Torr Vakuumdruck.
und vieles mehr..

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