虽然与MCA类似，但Chiaro的涡轮分子压力和速度是有所不同的。 配置可安装的光学显微镜，以便在等离子处理期间观察样品，并在液体/气体样品中检测是否存在泄漏现象。 在低真空处理等离子可增加等离子的活性。 为了检测TEM杆中气体和液体样品是否存在泄露现象，Chiaro具备了检漏功能，不仅在安装时可观察气体/液体的电子晶片，还可测试表面的亲水度并处理等离子。

• Easy TEM specimen loading through swing away chamber port
• Swing away stereo mic with keyed re-registration
• 5X mag w/6” working distance, LED illumination to view loading
• Pressure monitor possible gas/liquid cell leaks at <2e-5 Torr
• and much more..