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GV10x 设备

全世界的电子显微镜学家一致认同GV10x 等离子清洗器能够温和有效地去除电子显微镜样品和腔室中的碳污染。 比起传统方法,它在污染控制中取得了长足的进步:第1代等离子清洗器可吸附液氮和净化氮气,在短短几分钟内清除碳污染,减轻电子显微镜腔内的污染物聚集。. .

低压等离子的产生导致更优化的GV10x清洗性能。 较慢的等离子重组和较长的平均自由程将明亮的紫外线分散到整个镜腔。 T这种化学作用与更大的功率范围相结合(这里显示的是性能包线),将表面碳转化为气态分子后从镜腔中抽出,而不只是固定或吸附。

虽然清洗时间由具体的污染程度决定,但高效的GV10x 等离子清洗器可在多个实验室显微镜工具中轻松转移,保持不污染实验室内所有的显微镜。 Qwk-Switch™开关和QSTM安装口能把GV10x开关源从一个仪器移动到另一个仪器上。

随着纳米科学的发展,电子束越来越聚焦,电子束能量越来越低,反应气体的使用越来越普遍。 低着陆能量下的高分辨率不得不依赖更低的碳污染水平。 顺流灰化等离子清洗工艺可快速地完成任务,可节省操作人员宝贵的时间。 与传统的“等离子清洗器”中的动能清洗不同,顺流等离子清洗是一个温和的化学过程。 这一过程革命性彻底地改变了清除真空腔中碳和碳氢污染的方法。

扫描电子显微镜(SEM), 聚焦粒子束(FIB) 和透射电子显微镜(TEM)设备

在观察放气材料时,等离子体清洗是制备电子显微镜样品最有效且最温和的无创性方法。 在进行等离子清洗时,清洗过程不仅去除碳氢污染物,同时还会影响碳的结构。 这就引发了TEM设备中的一个问题,因为每次清洗都会降低碳支撑网格的坚固性。 针对这个难题,ibss提出了非动力的、温和的机制,减少了在进行等离子清洗时样品之间相互影响的副作用。 结果表明,该系统能有效地去除污染物,即使经过多次清洗也能保留碳支撑网格的坚固性。

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真空琐

在真空锁中的清洗样品由Qwk-Switch快接口安装固定,控制清洗的自动化软件位于真空锁和样品输入口。 真空锁的预清洁可最大限度地减少镜腔污染并减少在腔室进行的清洁过程。 实际上,真空锁门可被打开用以清洗腔室。 请联系我们获取有关真空锁配置的ibss解决方案。

UniAlberta GV10x on Gemini
GV10x on S4500 Sigmatech Amkor
GV10x On Hitachi S4800
GV10x on XPS
GV10x on XB540
Jeol JSM 7200 LoadLock
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